半導體分立器件是指以半導體材料為基礎的單一元件,包括各種半導體材料制成的二極管、三極管、場效應管、可控硅等,具有整流、放大、開關、檢波,穩壓、信號調制等多種功能,衡量晶體管性能好壞主要是通過I-V測試或C-V測試來提取晶體管的基本特性參數,并在整個工藝結束后評估器件的優劣。
半導體分立器件特性參數測試是對待測器件(DUT)施加電壓或電流,然后測試其對激勵做出的響應;通常半導體分立器件特性參數測試需要幾臺儀器完成,如數字表、電壓源、電流源等。然而由數臺儀器組成的系統需要分別進行編程、同步、連接、測量和分析,過程既復雜又耗時,還占用過多測試臺的空間。而且使用單一功能的測試儀器和激勵源還存在復雜的相互間觸發操作,有更大的不確定度及更慢的總線傳輸速度等缺點。
工藝設計/材料評估/產品建模
可靠性分析
PCM/TEG測試
WAT/KGD/參數測試
器件功能測試
確定器件故障原因
實施特性參數分析的最佳工具之一是數字源表(SMU)。普賽斯歷時多年打造了高精度、大動態范圍、率先國產化的源表系列產品,集電壓、電流的輸入輸出及測量等功能于一體。可作為獨立的恒壓源或恒流源、伏特計、安培計和歐姆表,還可用作精密電子負載。其高性能架構還允許將其用作脈沖發生器,波形發生器和自動電流-電壓(I-V)特性分析系統,支持四象限工作。